диффузия из легированного поликристаллического кремния

difuzija iš legiruoto polikristalinio silicio statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. doped-polysilicon diffusion vok. Diffusion aus dotiertem Polysilizium, f rus. диффузия из легированного поликристаллического кремния, f pranc. diffusion au polysilicium dopé, f